• Ebpay

    协作式机器人
    半导体晶圆厂地面搬运FOUP/POD，对接MRC进行任务调度；
    实现设备与设备间搬运、设备与E-Rack间搬运。
    功能亮点：

    亲和人机界面

    稳定系统集成

    对接多种设备

    具有Semi S2，Semi S17认证

    重要参数
    技术指标参数
    装载量

    2个Foup

    洁净等级

    Class100

    MR 认证标准

    Semi S2，Semi S17

    续航时间

    		8h

    充电方式

    手动更换电池或自动充电

    充电时间

    4h

    导航方式

    安全扫描激光器、SLAM 扫描


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